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    聯系方式
    蘇州希景微機電科技有限公司
    電話:0512-62621417
    郵箱:info@siliconvision.com.cn
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    新聞資訊

    希景科技實現二維MEMS掃描微鏡量產,助推激光雷達固態化

    2018-12-19 點擊數:2899
    據麥姆斯咨詢報道,專注于研發和生產車規級MEMS掃描微鏡的蘇州希景微機電科技有限公司(以下簡稱:希景科技)近日宣布,公司自主開發的二維MEMS掃描微鏡實現成功量產。這款二維MEMS掃描微鏡的鏡面直徑為5mm(可根據客戶需求進行定制),具有體積小、驅動功耗低、掃描頻率高、扭轉轉角大、生產成本低等特點,主要應用領域包

    據麥姆斯咨詢報道,專注于研發和生產車規級MEMS掃描微鏡的蘇州希景微機電科技有限公司(以下簡稱:希景科技)近日宣布,公司自主開發的二維MEMS掃描微鏡實現成功量產。這款二維MEMS掃描微鏡的鏡面直徑為5mm(可根據客戶需求進行定制),具有體積小、驅動功耗低、掃描頻率高、扭轉轉角大、生產成本低等特點,主要應用領域包括汽車激光雷達(LiDAR)等3D掃描應用。


    圖1 希景科技展示鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡

    在這輪自動駕駛發展熱潮中,激光雷達普遍被認為是實現自動/無人駕駛的核心賦能技術之一。傳統的三維激光雷達是在單點測距的基礎上,通過二維掃描實現三維空間的深度信息測量,因此激光束掃描是激光雷達系統設計的核心環節。但傳統的機械式掃描激光雷達通常會有較大的體積、重量和功耗,同時成本高昂。因此,采用MEMS掃描微鏡的混合固態激光雷達,被業界認為是最有望快速走向大規模量產及應用的解決方案。

    同時,希景科技提供MEMS掃描微鏡控制套件,可以滿足廣泛的客戶應用需求,極大地縮短客戶的產品開發時間。希景科技的二維MEMS掃描鏡的鏡面直徑通常為數毫米,鏡面采用金反射薄膜,可以滿足大功率紅外激光應用的要求。

    希景科技在MEMS掃描微鏡上集成了角度傳感器,通過控制電路采集傳感器的反饋信號以實現對MEMS掃描微鏡的閉環控制。此外,希景科技能夠根據客戶需求,提供如單軸諧振型微鏡、單軸準靜態微鏡、指向型微鏡等定制化產品及服務。希景科技開發的鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡已經進入量產階段,其主要性能指標如下:

    1 希景科技二維MEMS掃描微鏡指標參數

    參數

    數值

    鏡面直徑

    5mm (形狀和尺寸可定制)

    快軸諧振頻率

    1.3kHz~2.4kHz (可定制)

    功耗30mW時,快軸諧振光學轉角

    30°

    慢軸準靜態工作頻率

    0~60 Hz

    功耗30mW時,慢軸準靜態光學轉角

    20°

    慢軸諧振頻率

    160~180 Hz

    功耗10mW時,慢軸諧振光學轉角

    30°

    鏡面鍍膜

    金/鋁

    快慢軸角度傳感器

    壓阻傳感器

    工作溫度

    -40~100

    抗沖擊性能

    >500m/s2

    為了加速客戶的產品上市,方便客戶更快地導入MEMS掃描微鏡,希景科技還提供了基于MEMS掃描微鏡的激光脈沖掃描開發模組。通過這款開發模組,用戶可以設定激光脈沖掃描角度、掃描幀率、掃描線數,以及掃描脈沖的水平分辨率等參數。


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