據麥姆斯咨詢報道，專注于研發和生產車規級MEMS掃描微鏡的蘇州希景微機電科技有限公司（以下簡稱：希景科技）近日宣布，公司自主開發的二維MEMS掃描微鏡實現成功量產。這款二維MEMS掃描微鏡的鏡面直徑為5mm（可根據客戶需求進行定制），具有體積小、驅動功耗低、掃描頻率高、扭轉轉角大、生產成本低等特點，主要應用領域包括汽車激光雷達（LiDAR）等3D掃描應用。

圖1 希景科技展示鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡

在這輪自動駕駛發展熱潮中，激光雷達普遍被認為是實現自動/無人駕駛的核心賦能技術之一。傳統的三維激光雷達是在單點測距的基礎上，通過二維掃描實現三維空間的深度信息測量，因此激光束掃描是激光雷達系統設計的核心環節。但傳統的機械式掃描激光雷達通常會有較大的體積、重量和功耗，同時成本高昂。因此，采用MEMS掃描微鏡的混合固態激光雷達，被業界認為是最有望快速走向大規模量產及應用的解決方案。

同時，希景科技提供MEMS掃描微鏡控制套件，可以滿足廣泛的客戶應用需求，極大地縮短客戶的產品開發時間。希景科技的二維MEMS掃描鏡的鏡面直徑通常為數毫米，鏡面采用金反射薄膜，可以滿足大功率紅外激光應用的要求。

希景科技在MEMS掃描微鏡上集成了角度傳感器，通過控制電路采集傳感器的反饋信號以實現對MEMS掃描微鏡的閉環控制。此外，希景科技還能夠根據客戶需求，提供如單軸諧振型微鏡、單軸準靜態微鏡、指向型微鏡等定制化產品及服務。希景科技開發的鏡面直徑為5mm的二維MEMS掃描微鏡已經進入量產階段，其主要性能指標如下：

表1 希景科技二維MEMS掃描微鏡指標參數

為了加速客戶的產品上市，方便客戶更快地導入MEMS掃描微鏡，希景科技還提供了基于MEMS掃描微鏡的激光脈沖掃描開發模組。通過這款開發模組，用戶可以設定激光脈沖掃描角度、掃描幀率、掃描線數，以及掃描脈沖的水平分辨率等參數。